多晶硅定向凝固炉(简称结晶炉)
用于:太阳能级硅锭制造,也可以用于其他半导体材料提纯。
1、控制精度高,结晶速度可调节
2、采用石墨电阻或感应加热熔炼法,增加溶液搅拌,熔炼速度快
3、定向凝固保温采用特制加热电源
4、具有三相电流平衡,维护费用低
5、采用恒温度控制仪,可设置148段加热工艺曲线
6、炉室采用高真空炉体,真空度高,抽气速度快
● 熔炼容量: 10-450KG
● 电源功率:40-450KW
● 设计温度:≥1700℃
● 工作温度:1550℃
● 升温速率:40℃/Min
● 炉温均匀性:±5℃
● 极限真空度: 6.67×10-2Pa
● 压升率: 0.01PaL/S
● 额定充气压力:0.05Mpa
● 铸锭方式:坩埚下降/保温桶提升定向凝固
● 伺服控制范围:0.01mm-6mm/Min
● 定向凝固速率 :0.01mm-0.5mm/Min
● 坩埚快速返回速度:80-100 mm/Min