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真空熔炼定向凝固炉的用途及特点

2021-08-30 17:48:46

真空熔炼定向凝固炉的用途及特点

真空熔炼定向凝固炉的用途:

太阳能级硅绽制造,也可以用于其他半导体材料提纯。

真空熔炼定向凝固炉的特点:

控制精度高,结晶速度自由调节,采用石盟电阻或感应加热熔炼法,增加熔液搅拌,熔炼速度快。定向凝固保温采用特制加热电源,具有三相电流平衡,维护费用低,采用恒温度控制仪,可设置148段加热工艺曲线,炉室采用高真空炉体,真空度高,抽气速度快。

真空熔炼定向凝固炉的用途及特点

多晶硅定向凝固炉主要技术参数:

熔炼容量:10-450KG

电源功率:40-450KW

设计温度:1700°C

工作温度:1550°C

升温速率:40°C/Min

炉温均匀性:+5C

极限真空度:6.67x10-2Pa

压升率:0.01PaL/S

额定充气压力:0.05Mpa

铸锭方式:坩埚下降/保温桶提升定向凝固

同服控制范围:0.01mm-6mm/Min

定向凝固速率:0.01mm-0.5mm/Min

坩场快速返回速度:80-100mm/Min


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