真空熔炼定向凝固炉的用途及特点
真空熔炼定向凝固炉的用途:
太阳能级硅绽制造,也可以用于其他半导体材料提纯。
真空熔炼定向凝固炉的特点:
控制精度高,结晶速度自由调节,采用石盟电阻或感应加热熔炼法,增加熔液搅拌,熔炼速度快。定向凝固保温采用特制加热电源,具有三相电流平衡,维护费用低,采用恒温度控制仪,可设置148段加热工艺曲线,炉室采用高真空炉体,真空度高,抽气速度快。
多晶硅定向凝固炉主要技术参数:
熔炼容量:10-450KG
电源功率:40-450KW
设计温度:1700°C
工作温度:1550°C
升温速率:40°C/Min
炉温均匀性:+5C
极限真空度:6.67x10-2Pa
压升率:0.01PaL/S
额定充气压力:0.05Mpa
铸锭方式:坩埚下降/保温桶提升定向凝固
同服控制范围:0.01mm-6mm/Min
定向凝固速率:0.01mm-0.5mm/Min
坩场快速返回速度:80-100mm/Min