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用途：新型碳化硅材料，碳素材料，导热石墨膜材料前级真空负压脱焦和中温碳化处理。◇1600℃的高温，温度均匀性≤5℃◇测温精度高，控温精度±1℃◇极限真空度可按照工艺需要设置◇炉膛气氛可控，可通丙烯/甲烷/高纯氮/氩气◇
