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真空碳化炉由炉体、炉盖、感应器、熔炼坩埚、保温材料、加料箱、炉盖升降机构、真空机组、中频电源、电控柜、测温仪器组成。在运行期间可以连续不间断的运行，并通过提升温度的方式达到操作目的的设备。炉体类型分为立式和卧式两种，具有加热温度高、熔炼速度快、结构紧凑、布局合理，操作简单等特点。
真空碳化炉中为了减小腔体内壁的外表积，一般用喷砂或电解抛光的办法来取得平整的外表。真空炉中超高真空体系的腔体，更多的是利用电解抛光来进行外表处理。超高真空腔体的氩弧焊接，原则上有必要选用内焊，即焊接面是在真空一侧，避免存在死角而发作虚漏。真空碳化炉中真空腔体不允许表里两层焊接和两层密封。
真空腔体的内壁外表吸附很多的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现超高真空，要对腔体进行150～250℃的高温烘烤，以促使材料外表和内部的气体尽快放出。烘烤办法有在腔体外壁环绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐子中。比较经济简略的烘烤办法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，避免热量散失的同时也可使腔体均匀受热。
